Experimental Validation of Plasma-Surface Interaction Models in High-Power Helicon Plasma Sources
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Abstract
Esta tesis analiza los fenomenos de erosión presentes en las fuentes helicoidales de plasma
Estas consisten en generadores de plasma mediante radiofrecuencia y carentes de electrodos
que son capaces de producir plasmas de alta densidad a partir de niveles de potencia de entrada bajos y medianos
En forma creciente
han encontrado aplicaciones industriales y academicas que abarcan desde la investigación en física básica
el procesamiento de materiales
la propulsion espacial electrica
e in
Estas consisten en generadores de plasma mediante radiofrecuencia y carentes de electrodos
que son capaces de producir plasmas de alta densidad a partir de niveles de potencia de entrada bajos y medianos
En forma creciente
han encontrado aplicaciones industriales y academicas que abarcan desde la investigación en física básica
el procesamiento de materiales
la propulsion espacial electrica
e in
Description
Trabajo final de graduación